Case study Nr. 6:
Phosphorsäure in Halbleiter-Qualität
Ausgangsituation
Für die Produktion von Halbleitern, Displays und Photovoltaik werden immer größere Mengen von Phosphorsäure (H2PO4) in Halbleiter-Qualität benötigt. Besonders für die Produktion der 3D-V-NAND Technology (Flash-Speicher) ist diese Säure unverzichtbar.
Zur Produktion dieser hochreinen Säure werden Chemieanlagen gebaut, deren Ausrüstungskomponenten, welche die Säure im Produktionsprozess berühren, metallfrei sein müssen.
Nach dem Reinigungsprozess muss die Phosphorsäure gekühlt werden. Die bisher verwendeten Wärmetauscher aus Polytetra fluorethylen Rohren waren durch ihre gewickelte Bauform nicht effektiv und bedingt durch den Herstellungsprozess kam es auch immer wieder zu Leckagen.
Aufgabenstellung
Kühlung von Phoshorsäure – Gesucht wurde ein effektiver, metallfreier und betriebssicherer Wärmetauscher zur Kühlung von 700.000kg/h hochreiner Phosphorsäure.
Lösung
Die Phosphorsäure wird durch Calorplast PE-RT Badwärmetauscher geleitet, welche in Tanks eingebracht werden. Kühlung von Phoshorsäure – Durch die Tanks fließt das Kühlwasser und umströmt die Wärmetauscher von außen. Die Wärmetauscherrohre sind nicht gewickelt, sondern durch unser Herstellungsverfahren „Overmoulding“ geordnet-parallel-kompakt ausgerichtet.
Ergebnis
Läuft? Check!t
